等离子体所为法国聚变实验装置WEST研制关键部件
4月25日上午，法国聚变实验装置WEST首套离子回旋天线竣工典礼在等离子体所举办。该套天线的成功研制是我国首‘次向法国出口聚变工程技术，为法国聚变研究实验装置提供关键部件。
离子回旋加热天线是等离子体辅助加热的主要设备之一，整个天线结构复杂，冷却管路复杂繁多，工艺技术要求高。等离子体所承担的法国高功率、长脉冲、主动冷却的离子回旋加热天线研制是中法联合实验室主要合作项目，共计三套，等离子清洗设备仪，将为WEST装置提供9兆瓦的加热功率，加热持续时间最长为1000秒，表面清洁，是WEST装置重要的辅助加热方式。
等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入反应室被真空泵抽真空，柔性板清洗，气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计是富有弹性的，清洗，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法:反应性等离子体(RIE)，顺流等离子体(downstream)，直接等离子体(directionplasma)。
