喷雾风扇送风喷雾风扇是在通风机上装有喷雾装置的局部送风设备，即在普通轴流风机上加设甩水盘构成（图3-1-4和3-1-5所示）。 喷雾风扇送风具有降温作用，雾洒落在人体表面又能促进人体蒸发散热，无尘车间 价格，悬浮在空气中的小雾滴还能吸收热辐射，100级无尘车间，减轻人体受热辐射的影响。但也会引起人造汗。 要求：要求喷雾风扇应有足够的风量、喷雾量和射程；喷雾的水滴<60μm，最-大不超过100μm。风速不大于3～5m/s。 应用：喷雾风扇适用于高温、强热辐射的工作地点。用于温度高于35℃，辐射强度大于1400W/m2，细小雾滴对生产工艺无影响的中、重作业点。
温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，宜春无尘车间，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，无尘车间 厂房，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别 是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
