湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或 电路中，无尘车间，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，无尘车间建造，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，无尘车间，同时大量半导体器件容易发生击穿
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控制系统(DDC)温度:干盘管系统控制湿度:空调箱调节通过感测的信号，控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量正压:空调箱调节，根据静压感测的信号，自动调节空调箱马达变频器的频率，从而调节进入室内的新风量.其他系统不只是空调系统， 无尘室系统中还包括有真空，空压，氮气，无尘车间厂家，纯水，废水，二氧化碳系统，制程排气系统，
