复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域1-00%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，安庆洁净室，可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，医药 洁净室，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10，000~100，000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，洁净室 万级，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净手术部 clean operating department
由洁净手术室、洁净辅助用房和非洁净辅助用房组成的自成体系的功能区域。
交竣状态洁净室(空态) as built clean room
已建成并准备运行的、具有净化空调的全部设施及功能，但室内没有设备和人员的洁净室。
待工状态洁净室(静态)atrest clean room
室内净化空调设施及功能齐备，如有工艺设备，工艺设备已安装并可运行，洁净室施工，但无工作人员时的洁净室。
洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最-低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。
