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等离子体和普通气体性质不同,普通气体由分子构成,低温等离子发生器,分子之间相互作用力是短程力,仅当分子碰撞时,分子之间的相互作用力才有明显效果,理论上用分子运动论描述。在等离子体中,带电粒子之间的库仑力是长程力,库仑力的作用效果远远超过带电粒子可能发生的局部短程碰撞效果,等离子体中的带电粒子运动时,能引起正电荷或负电荷局部集中,产生电场;电荷定向运动引起电流,等离子表面处理,产生磁场。电场和磁场要影响其他带电粒子的运动,等离子,并伴随着极强的热辐射和热传导;等离子体能被磁场约束作回旋运动等。等离子体的这些特性使它区别于普通气体被称为物质的第四态。


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随着微电子技术及工艺的飞速发展,湿法清洗技术越来越暴露出其一定的局限性。然而,干法清洗技术不但能够避免湿法清洗带来的环境污染问题,同时也使生产效率也大大得到了提高。通过大量的实践,等离子体清洗技术在干法清洗中优势非常明显。


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