所谓直接等离子体，亦称作反应离子蚀刻，是等离子的一种直接浸蚀形式。它的主要优势是高的
蚀刻率和高的均匀性。直接等离子体具有较低浸蚀，但工件却暴露在射线区。顺流等离子是种较弱的工艺，常压等离子处理，它适合去除厚为1～5nm的薄层。在射线区或等离子中，人们担心工件受到损坏，常压等离子清洗，目前，这种担心还没有证据，看来只有在重复的高射线区和延长处理时间到60～120min才能发生，正常情况下，这样的条件只在大的薄片及不是短时的清洗中。
等离子体所为法国聚变实验装置WEST研制关键部件
4月25日上午，法国聚变实验装置WEST首套离子回旋天线竣工典礼在等离子体所举办。该套天线的成功研制是我国首‘次向法国出口聚变工程技术，为法国聚变研究实验装置提供关键部件。
离子回旋加热天线是等离子体辅助加热的主要设备之一，北京等离子，整个天线结构复杂，冷却管路复杂繁多，工艺技术要求高。等离子体所承担的法国高功率、长脉冲、主动冷却的离子回旋加热天线研制是中法联合实验室主要合作项目，共计三套，等离子清洁，将为WEST装置提供9兆瓦的加热功率，加热持续时间最长为1000秒，是WEST装置重要的辅助加热方式。
