净化工程——无尘车间
所谓的无尘车间是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 由于奈米技术的兴起，上海岩棉夹芯板，造成半导体关键尺寸持续缩小，东北岩棉夹芯板，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，上海彩钢岩棉夹芯板，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。
洁净厂房设计规范：洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级的确定，应符合下列要求：
一、洁净室内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气洁净度等级。
二、在满足人生产工艺要求的前提下，洁净室的气流组级别，宜采用局部工作区空气净化和全 室空气净化相结合的形式。
1、层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，岩棉夹芯板，其净化空气调节系统均宜分开设置。P#iyQ9yYu5s_A
2、洁净室内的计算温、温度、应符合下列规定：
（1）满足生产工艺要求
（2）生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20～26度，温度70度。
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