净化工程——洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，岩棉夹芯板，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，50厚岩棉夹芯板价格，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，岩棉夹芯板，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，上海岩棉夹芯板，这种车间不宜超过25度。
净化工程——洁净室
洁净室内应保证一定的新鲜空气量，其数值频取下列风量中的最‘大值；
1、乱流洁净室总送风量的10%～30%，层流洁净室总送风量的2～4%。
2、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。
3、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。
四、洁净室正压控制
1、洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于5Pa，洁净区与室外的静压差，应不小于10Pa。
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