因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，激光混合气，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(He)-氖(Ne)激光作为首代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。
典型示例:激光混合气
激光混合气
组分与浓度范围
H2
CO
CO2
N2
He
0.3%
3%
6.5%
13%
77.2%
采用40升钢瓶，充装压力10MPa
2.2 G54~G59
指令建立加工坐标系指令及对刀方法
这种对刀方式通过对刀直接输入加工原点在机床坐标系中的坐标值。
2.2.1
对刀操作：
①机床回参考点
;
②试切端面：
读
Z
方向的机床坐标为
Z
机
;
③试切外
径：
测量试切外径并读取刀具在
X
方向的机床坐标
X
机。
2.2.2
工件坐标系建立：用
G54 G00/G01 Xa Zb
的语句建立加工坐标系
，
其中
a=X
机
-
试
切工件外径值
，b=Z
机。
2.2.3
原理分析：通过对刀操作
，
准确地知道加工坐标系原点
A
在机床坐标系中的坐标
，
系
统一旦执行
G54 G00/G01 Xa Zb，
便知道加工原点在机床坐标系中的坐标
X
工
=X
机
-
工
激光混合气的组成与精度的影响：气体激光器的各类繁多，激光混合气的品种、规格也较多。对于激光混合气的组成与精度都有严格的要求。众所周知，混合气中组分浓度的变化对于振荡效率和激光器使用寿命影响极大。例如，激光混合气厂家，对于二氧化碳激光器，若混合气氮组份气浓度发生变化，受电子冲撞则引起氮分子激励状态发生变化，结果会造成二氧化碳气体分子的激励效率等发生变化。正因为如此，激光混合气的制备精度亦必须严格控制，激光混合气出口，特别是对于高精度的二氧化碳激光器，要求制备精度为±2%。对于一般激光混合气而言，制备精度要求控制在±5%左右。 包装容器要求：激光混合气一般采用钢瓶包装。为了防止包装钢瓶对混合气的二次污染，激光混合气纯度，充装混合气之前，必须对钢瓶进行加温、抽真空、转换等程序的严格处理，以消除钢瓶内残存的水份和空气对混合气的污染，从而确保混合气的制备精度。
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