基本资料
化学品英文名称： nitrogen trifluoride 英文名称： nitrogen fluoride
分子结构：三角锥
键角：102.5°
分子量：71.0019
熔点(101.325kPa)：-206.79℃
沸点(101.325kPa)：-129.0℃
液体密度(-129℃，三氟化氮钢瓶，101.325kPa)：1540kg/m3
气体密度(20℃，101.325kPa)：2.96kg/m3 相对密度(气体，空气=1，20℃，三氟化氮，101.325kPa)：2.46
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.3371m3/kg
气液容积比(15℃，100kPa)：520L/L
临界温度：-39.3℃
临界压力：4530kPa
临界密度：522kg/m3
临界 压缩系数：0.317
熔化热(-206.79℃，101.325kPa)：5.61kJ/kg
气化热(-129℃，101.325kPa)：163.29kJ/kg
比热容(气体，25℃，101.325kPa)：Cp=751.68J/(kg·K)
蒸气压(-171℃)：1.333kPa
(-100℃)：470kPa
(-60℃)：2200kPa 粘度(气体，25℃，三氟化氮，101.325kPa)：0.0183mPa·S
折射率(气体，25℃)：1.0004416
主要成分：纯品
外观与性状：无色、带霉味的气体。
相对密度(水=1)：1.89(沸点，液体)
溶解性：不溶于水。
主要用途：用作高能燃料。
废弃处置方法：根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。
计算化学数据
1、疏水参数计算参考值（XlogP）：1.9
2、氢键供体数量：0
3、氢键受体数量：4
4、可旋转化学键数量：0
5、互变异构体数量：无
6、拓扑分子极性表面积（TPSA）：3.2
7、重原子数量：4
8、表面电荷：0
9、复杂度：8
10、同位素原子数量：0
11、确定原子立构中心数量：0
12、不确定原子立构中心数量：0
13、确定化学键立构中心数量：0
14、不确定化学键立构中心数量：0
15、共价键单元数量：1
简 介
三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），三氟化氮阀门，它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
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