湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，萍乡无尘车间，如果发生在精密装置或 电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿
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局部送风 向局部工作地点送风，无尘车间造价，使局部地带造成良好的空气环境。对于面积很大，操作人员较少的生产车间，用全面通风的方式改善整个车间的空气环境，既困难又不经济，同时也是不必要的。例如某些高温车间，没有必要对整个车间进行降温，无尘车间改造，只需向个别的局部工作地点送风，在局部地点造成良好的空气环境，这种通风方法称为局部送风。局部送风主要用于局部降温，又分为系统式和分散式两种。1．系统式送风系统 系统式就是通风系统将室外空气送至工作地点。图3-1-2是铸造车间浇注工段系统式局部送风系统示意图。空气经集中处理后送入局部工作区。分散式局部送风一般使用轴流风扇或喷 雾风扇，采用室内再循环空气。
