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光刻机中工作台上设置有一个特定的检测系统(1NSITU)，宿州尼康步进光刻机，在检测系统上设置了几组基准标记(FiducialMark)，每台设备中各基准标记相对于曝光轴之间的距离是一组设备常数，尼康步进光刻机，在设备出厂前作为机器常数存放在相应的软件文件中。但由于硬件安装、环境变化等多方面原因会造成实际位置和设备常数之间有一个偏差值，即所谓的基准补偿值(BaselineOffset)，通过标准片在不同设备上曝光的位置可以求出隔栅误差的各种差异，武汉尼康步进光刻机，进而根据匹配要求，郑州尼康步进光刻机，适当加入-定量的基准补偿值进而达到最.佳的隔栅误差匹配。
光刻机的匹配调整是-项非常复杂的工作，在进行调整时，以下几点准则应当遵循：
●匹配使用的光刻机，首先应该是各单台光刻机调整到设备本身的最.佳状态，各项技术指标必须在设备规定的范围之内。
●设备进行匹配调整时，凡是能通过软件修正量的改变能实现的尽量使用软件方式来调整，因为软件调整是可改变的，可恢复的。而机器硬件调整的可恢复性比较差，特别是有严格精度要求的，基本上没有硬件调整的余地。
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