水基清洗机原理：
清洗机由于应用场合和洗涤对象的不同，淮安晶圆，以及污垢附着的基体的性质差异很大，清洗机理也是复杂的。可简单地将清洗分为以三个过程：
●向被洗物内浸透洗净溶液的过程一浸透作用；
●污垢从固体表面分离的过程—扩张作用； 污垢进行分散保护的过程的过程—分散、浮化、可溶化作用；
●污垢从被洗物除去的过程。
在利用水基清洗机进行清洗时，洗涤对象的表面活性物质的表面性能发生了相当大的变化，如果将1cm3立方体分割成1021个立方体的话，晶圆酸洗，可以计算出它的表面积总和将为6000m2，这时此物质的表面及界面的特性就上升为主要的了，晶圆腐蚀台，其自由能，表面张力等均发生了质的变化。表面张力为一定值时的浓度。在此浓度下，水基清洗机里的水溶液的许多物理化学性质会发生显著的变化，使用时应特别注意。
研究所及其他原子能工业：
需要清洗的产品：控制杆、计数管、泵、铅管类、研究所用的容器、玻璃螺管、玻璃管、分析试料、目镜等
污染源：放射性粒子、灰尘、沾附污垢、砂砾、硅油、润滑油
使用清洗剂：碱性洗涤剂、中性洗涤剂；纯水；有机性洗涤剂
清洗设备是指可用于替代人工来清洁工件表面油、蜡、尘、氧化层等污渍与污迹的机械设备。目前市面上所见到清洗设备为：超声波清洗、高压喷淋清洗、激光清洗、蒸汽清洗、干冰清洗及复合型清洗设备等；
喷淋清洗机
是一种利用水压冲洗物体表面的工业清洗设备。它将工件表面污垢剥离，冲走，达到清洗物体表面的目的。该机具有工位多，功能全，结构合理，操作方便，晶圆腐蚀设备，清洗效果好，对于大批量工件的清洗，改善劳动环境，提高清洗和吹干质量，具有重要的意义。该清洗机为继电器控制全自动形式，除人工装卸工件外，其它工艺工序过程全部自动完成。
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