1、基于新原理的加工方法努力开发加工单位极小的精密加工方法，必须在加工机理的本身就使其误差分散在1nm以下的水平。目前加工单位比较小的加工方法主要有弹性破坏加工、化学加工、离子束加工、电子束加工、等离子体加工等。目前的金刚石切削和金刚石砂轮精密磨削从其加工机理上看，其加工单位就很大。
2、开发精密的机械机构不论是加工装置还是测量装置，都需要 精密的机械机构，包括导轨、进给机构及轴承等，超精密空气静压导轨是目前好的导轨，其直线度可达(0.1~0.2)μm/250mm，精密仪器加工厂，通过补偿技术还可以进一步提高直线度，但是它没有液体静压导轨的刚性大。同时，由于空气静压导轨的气膜厚度只有10μm左右，所以在使用过程中，要注意防尘。另外，在导轨的设计中，还可以用多根导轨并联来均化气膜的误差。用高弹性合金、红宝石制造的滚动导轨，系统误差在0.5μm左右，随机误差可能超过0.1μm。
精密加工方法在今天显得越来越重要，精密加工技术已成为目 前高科技技术领域的基础，提高精密加工的精度已成为目前迫在眉睫的问题。目前，很多学者正在这方面做着大量的研究和实验，相信不久的将来，精密加工技术会取得长足进展。
精密加工技术简介
目前，精密加工是指加工精度为1~0.1μm，表面粗糙度Ra0.1~0.01μm的加工技术，但这个界限是随着加工技术的进步不断变化的，精密仪器天平，今天的精密加工可能就是明天的一般加工。精密加工所要解决的问题，一是加工精度，精密仪器外形设计，包括形位公差、尺寸精度及表面状况，有时有无表面缺陷也是这一问题的核心;二是加工效率，有些加工可以取得较好的加工精度，浙江精密仪器，却难以取得高的加工效率。精密加工应该包括微细加工和超微细加工、光整加工等加工技术。
三坐标测量机能够为模具工业提供质量保证，是模具制造企业测量和检测的好选择。三坐标测量机在处理不同工作方面的灵活性以及自身的高精度，使其成为一个仲裁者。在为过程控制提供尺寸数据的同时，三坐标测量机可提供入厂产品检验、客户质量检测、量规检验、模具工件的检测等附加性能。高度柔性的三坐标测量机可以配置在车间环境，并直接参与到模具加工、装配、试模、修模的各个阶段，提供必要的检测反馈，减少返工的次数并缩短模具开发周期，从而最终降低模具的制造成本并将生产纳入控制。
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