（1）不锈钢原料的机器设备外表存积着富含其它金属元素的粉尘或许是杂类金属颗粒的附着物，在湿闰的空气中，连云港腐蚀，附着物与不锈钢间的冷凝水珠水滴，把两者连成一个微电池，引发了电化学反响，清洗腐蚀，保护膜遭到电化学侵蚀损坏。
2）在不锈钢外表粘附了有机物汁液，金属腐蚀机，例如菜汁、面汤、痰液等，在有水氧情况下，就会构成有机酸，在较长时刻的效果下，就会构成有机酸对金属外表进行侵蚀而变成生锈。
（3）在不锈钢原料设备外表粘附富含酸、碱、盐类物质，例如刷墙面的碱水、石灰水等，这也会引起部门的金属被侵蚀而生锈。
在批次清洗工艺还是在单晶圆清洗工艺中，传统的浸没清洗仍起主导作用。在单晶圆清洗工艺时，这一趋势由于太阳电池清洗技术的需求而强化。该技术中，由于被加工衬底的剪切数目(shear number)，硅片腐蚀机，可选用批次加工方法。可以使选择气相清洗化学过程与批次加工兼容。但同时，单晶圆清洗方法（如旋转清洗）正推进到高端应用领域。
RCA清洗法：依靠溶剂、酸、表面活性剂和水，在不破坏晶圆表面特征的情况下通过喷射、净化、氧化、蚀刻和溶解晶片表面污染物、有机物及金属离子污染。在每次使用化学品后都要在超纯水（UPW）中彻底清洗。以下是常用清洗液及作用。
