隔间万级无尘室：
隔间分为三大部分，无尘车间造价，更衣室，无尘车间 厂房，千级区和百级区，更衣室与千级区，净化 无尘车间， 千级区和百级区均设风淋室(airshower)， 无尘室与室外设有物品出入通道传递箱(passbox).当人员进入无尘室时，首先要经过风淋室，对人体所带的灰尘吹淋，无尘车间，减少人员带入无尘室的灰尘. 传递箱则是对物品灰尘进行吹淋，达到落尘的效果.
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或 电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿
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