机械零部件的污垢主要有润滑脂、防锈油脂及其他混合物组成的油泥，可以采用碱性清洗液清洗、电化学清洗，也可采用超声波清洗机清洗，超声波清洗机清洗是一个清洗的专门类别，属工业清洗。采用碱性清洗液清洗 碱性清洗液化学清洗的工艺流程为：装挂－碱液清洗－水洗（50-90℃热水）－干燥（热压缩空气吹干，要求较高的零部件，经压缩空气吹干后，半导体清洗设备，还需要在105-1150C的电热鼓风干燥箱中烘烤10分钟. 采用碱性清洗液的电化学清洗 超声波清洗应注意下列点：不宜清洗机件表面较厚的油污，油污较厚时需采用高压喷淋的方法进行预清洗，对于弹簧件、薄壁钢件，超高强度钢件等不能在阴极上清洗（为避免材料渗氢，产生氢脆现象）；对铜、锌、镍等材料制成的机件不能在阳极上清洗（避免材料表面氧化）；定期进行电解液的定量分析，按分析结果补充化学试剂。
硅片清洗物理清洗
物理清洗有三种方法。①刷洗或擦洗:可除去颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜。②高压清洗：是用液体喷射片子表面，清洗腐蚀台，喷嘴的压力高达几百个大气压。高压清洗靠喷射作用，片子不易产生划痕和损伤。但高压喷射会产生静电作用，SPM清洗机，靠调节喷嘴到片子的距离、角度或加入防静电剂加以避免。③超声波清洗：超声波声能传入溶液，泰州清洗，靠气蚀作用洗掉片子上的污染。但是，从有图形的片子上除去小于 1微米颗粒则比较困难。将频率提高到超高频频段，清洗效果更好。
研究所及其他原子能工业：
需要清洗的产品：控制杆、计数管、泵、铅管类、研究所用的容器、玻璃螺管、玻璃管、分析试料、目镜等
污染源：放射性粒子、灰尘、沾附污垢、砂砾、硅油、润滑油
使用清洗剂：碱性洗涤剂、中性洗涤剂；纯水；有机性洗涤剂
清洗设备是指可用于替代人工来清洁工件表面油、蜡、尘、氧化层等污渍与污迹的机械设备。目前市面上所见到清洗设备为：超声波清洗、高压喷淋清洗、激光清洗、蒸汽清洗、干冰清洗及复合型清洗设备等；
