清洗机设备
平制造工程和制造工艺
作为LCD制造工艺有代表性的清洗处理有以下几类：
1）白玻璃基板清洗
2）刻蚀处理后的清洗
3）屏组装工程的清洗
摩擦后清洗
US气吹
屏清洗装置
清洗检测装置
4）其他相关的附带清洗装置
边框胶印刷用版的清洗
夹具的清洗
彩膜的清洗
掩膜版的清洗
取向膜剥离清洗
卷扬干燥机
IPA蒸气干燥机
旋转
清洗设备是指可用于替代人工来清洁工件表面油、蜡、尘、氧化层等污渍与污迹的机械设备。目前市面上所见到清洗设备为：超声波清洗、高压喷淋清洗、激光清洗、蒸汽清洗、干冰清洗及复合型清洗设备等；
硅片清洗物理清洗
物理清洗有三种方法。①刷洗或擦洗:可除去颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜。②高压清洗：是用液体喷射片子表面，喷嘴的压力高达几百个大气压。高压清洗靠喷射作用，硅片清洗，片子不易产生划痕和损伤。但高压喷射会产生静电作用，靠调节喷嘴到片子的距离、角度或加入防静电剂加以避免。③超声波清洗：超声波声能传入溶液，硅片腐蚀机，靠气蚀作用洗掉片子上的污染。但是，从有图形的片子上除去小于 1微米颗粒则比较困难。将频率提高到超高频频段，清洗效果更好。
喷淋清洗机
是一种利用水压冲洗物体表面的工业清洗设备。它将工件表面污垢剥离，冲走，达到清洗物体表面的目的。该机具有工位多，功能全，结构合理，操作方便，清洗效果好，对于大批量工件的清洗，改善劳动环境，提高清洗和吹干质量，南京硅片，具有重要的意义。该清洗机为继电器控制全自动形式，除人工装卸工件外，其它工艺工序过程全部自动完成。
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