珩磨
用油石砂条组成的珩磨头，在一定压力下沿工件表面往复运 动，精密仪器操作台，加工后的表面粗糙度可达Ra0.4~0.1μm，好可到Ra0.025μm，主要用来加工铸铁及钢，不宜用来加工硬度小、韧性好的有色金属。
精密研磨与抛光
通过介于工件和工具间的磨料及加工液，工件 及研具作相互机械摩擦，使工件达到所要求的尺寸与精度的加工方法。精密研磨与抛光对于金属和非金属工件都可以达到其他加工方法所不能达到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025μm加工变质层很小，表面质量高，精密研磨的设备简单，主要用于平面、圆柱面、齿轮齿面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量规、量块、喷油嘴、阀体与阀芯的光整加工。
1、基于新原理的加工方法努力开发加工单位极小的精密加工方法，必须在加工机理的本身就使其误差分散在1nm以下的水平。目前加工单位比较小的加工方法主要有弹性破坏加工、化学加工、离子束加工、电子束加工、等离子体加工等。目前的金刚石切削和金刚石砂轮精密磨削从其加工机理上看，金华精密仪器，其加工单位就很大。
2、开发精密的机械机构不论是加工装置还是测量装置，都需要 精密的机械机构，包括导轨、进给机构及轴承等，超精密空气静压导轨是目前好的导轨，其直线度可达(0.1~0.2)μm/250mm，通过补偿技术还可以进一步提高直线度，但是它没有液体静压导轨的刚性大。同时，精密仪器机械，由于空气静压导轨的气膜厚度只有10μm左右，所以在使用过程中，要注意防尘。另外，在导轨的设计中，还可以用多根导轨并联来均化气膜的误差。用高弹性合金、红宝石制造的滚动导轨，系统误差在0.5μm左右，随机误差可能超过0.1μm。
标准器具指用作测量或检定标准的量具。如量块、多面棱体、表面粗糙度比较样块等。通用器具也称万能量具。一般指由量具厂统一制造的通用性量具。如直尺、平板、角度块、卡尺等。专用器具也或称非标量具。指专门为检测工件某一技术参数而设计制造的量具。如内外沟槽卡尺、钢丝绳卡尺、步距规等量具是以固定形式复现量值的测量器具，特点如下1．本身直接复现了单位量值，精密仪器加工厂，即量具的标称值就是单位量值的实际大小，如量块本身就复现了长度量的单位。2．在结构上一般没有测量机构，没有指示器或运动着的元部件。如量块只是复现单位量值的一个实物。3．由于没有测量机构，如不依赖其他配用的测量器具，就不能直接测出被测量值。例如量块要配用干涉仪、光学计。因此它是一种被动式测量器具.
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