等离子体利用的是在0.13～13.3Pa的低真空条件下生成的离子
1. 33X10-5Pa高真空度下得到的离子射线法是有区别的。
2．等离子体在精密清洗中的应用
利用等离子体的干式清洗机理，目前还不完全清楚，感兴趣的读者可查阅有关专业书籍，这里只介绍一些具体应用。
目前应用于等离子体清洗的气体包括N2、Ar、NF3、CF4等不活泼气体和氧气等活泼气体。
等离子清洗机的产品特点：
● 采用美国霍尼韦尔真空压力传感器，性能稳定可靠；
● 采用美国气体浮子流量计，流量显示准确；
● 独特的双路气体控制方式，气体控制更加稳定；
● 舱体，管路，等离子处理设备，阀体全部采用优质不锈钢材质，防腐不生锈；
● 手动，自动两种工作模式，可以根据用户需求任意切换；
● 智能程序化控制，可编程，自动完成整个实验过程；
● 无需任何耗材，等离子，使用成本低，无需特殊维护，保持仪器清洁即可。
