铺设防静电地板或地毯。目前已有这种具有一定导电性能的塑料地板或地毯产品，能十分有效抑制由于人的行走产生静电。
使用离子风枪、离子头、离子棒等设施，使在一定范围内防止静电产生。
半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中，这种防静电盛放器有良好导电性能，净化车间，能有效防止静电的产生。当然，无菌净化车间，有条件的应盛放在金属盛放器内或用金属箔包装。
对于操作人员应在手腕上带防静电手带，这种手带应有良好的接地性能，这种措施最为有效。
净化车间地面，墙面，顶面及门窗： 车间的地面要用防滑，坚固，不渗水，易清洁，耐腐蚀的材料铺制，净化车间地面表面要平坦，不积水。车间整个地面的水平在设计和建造时应该比厂区的地面水平略高，上海净化车间，地面有的斜坡度。车间的墙面应该铺有2 米以上的墙裙，墙面用耐腐蚀，易清洗消毒，坚固，不渗水的材料铺制及用浅色，无毒，防水，防霉，不易脱落，可清洗的材料覆涂。净化车间的墙角，地角和顶角曲率半径不小于3厘米呈弧形。净化车间的顶面用的材料要便于清洁，有水蒸气产生的作业区域，顶面所用的材料还要不易凝结水球，在建造时要形成适当的弧度，以防冷凝水滴落到产品上。车间门窗有防虫，净化车间，防尘及防鼠设施，所用材料应耐腐蚀易清洗。窗台离地面不少于1米，并有45 度斜面。
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