1、基于新原理的加工方法努力开发加工单位极小的精密加工方法，必须在加工机理的本身就使其误差分散在1nm以下的水平。目前加工单位比较小的加工方法主要有弹性破坏加工、化学加工、离子束加工、电子束加工、等离子体加工等。目前的金刚石切削和金刚石砂轮精密磨削从其加工机理上看，其加工单位就很大。
2、开发精密的机械机构不论是加工装置还是测量装置，都需要 精密的机械机构，包括导轨、进给机构及轴承等，三坐标测量仪书，超精密空气静压导轨是目前好的导轨，其直线度可达(0.1~0.2)μm/250mm，三坐标测量仪报价，通过补偿技术还可以进一步提高直线度，但是它没有液体静压导轨的刚性大。同时，由于空气静压导轨的气膜厚度只有10μm左右，所以在使用过程中，三坐标测量仪，要注意防尘。另外，在导轨的设计中，还可以用多根导轨并联来均化气膜的误差。用高弹性合金、红宝石制造的滚动导轨，上海三坐标测量仪，系统误差在0.5μm左右，随机误差可能超过0.1μm。
测量特点
1先进的补偿算法，对Z轴精度进行补偿2、可评定锥形柱体的轮廓度（小锥体）3、气浮运动轴系，精度保持长久4、Z轴光栅计数5、关键件采用特殊去应力合金材料及特殊的去应力处理工艺，精度保持长久6、业内领先的高精度采集控制系统，控制系统所有电路按标准设计、生产及验收，能在-70。C ～+70。C的温度区间内稳定工作
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