等离子体利用的是在0.13～13.3Pa的低真空条件下生成的离子
1. 33X10-5Pa高真空度下得到的离子射线法是有区别的。
2．等离子体在精密清洗中的应用
利用等离子体的干式清洗机理，目前还不完全清楚，感兴趣的读者可查阅有关专业书籍，常压等离子清洗，这里只介绍一些具体应用。
目前应用于等离子体清洗的气体包括N2、Ar、NF3、CF4等不活泼气体和氧气等活泼气体。
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激光技术已经趋向完美，离子技术也将到达它的终点站，等离子，这些现存的武器系统似乎再也没有改进的余地。但是人们想到了一个主意：也就是把两种系统合而为一。激光被用来把重氢加热到百万度的高温，等离子清洁设备，再利用研发离子技术所获得的电磁场知识，来包裹这团可怕的等离子团。这青蓝色的等离子球在飞往目标的途中看起来是如此的赏心悦目，但是在太空船上的船员看来，这看来温和的等离子团代表的是毁灭与死亡。等离子武器被看作是最可怕的武器，当然这项技术的代价也是高昂的。
