1、基于新原理的加工方法努力开发加工单位极小的精密加工方法，必须在加工机理的本身就使其误差分散在1nm以下的水平。目前加工单位比较小的加工方法主要有弹性破坏加工、化学加工、离子束加工、电子束加工、等离子体加工等。目前的金刚石切削和金刚石砂轮精密磨削从其加工机理上看，其加工单位就很大。
2、开发精密的机械机构不论是加工装置还是测量装置，都需要 精密的机械机构，包括导轨、进给机构及轴承等，超精密空气静压导轨是目前好的导轨，其直线度可达(0.1~0.2)μm/250mm，通过补偿技术还可以进一步提高直线度，但是它没有液体静压导轨的刚性大。同时，由于空气静压导轨的气膜厚度只有10μm左右，所以在使用过程中，要注意防尘。另外，在导轨的设计中，还可以用多根导轨并联来均化气膜的误差。用高弹性合金、红宝石制造的滚动导轨，系统误差在0.5μm左右，随机误差可能超过0.1μm。
几种常用的精密加工方法及特点
传统的精密加工方法有布轮抛光、砂带磨削、超精细切削、精细磨削、珩磨、研磨、超精研抛技术、磁粒光整等。
砂带磨削
是用粘有磨料的混纺布为磨具对工件进行加工，属于涂 附磨具磨削加工的范畴，有生产率高、表面质量好、使用范围广等特点。 国外在砂带材料及制作工艺上取得了很大的成就，有了适应于不同场合的砂带系列，精密仪器测量，生产出通用和专用的砂带磨床，而且自动化程度不断提高(已有全自动和自适应控制的砂带磨床)，但国内砂带品种少，温州精密仪器，质量也有待提高，对机床还处于改造阶段。
影像仪特点
1、X轴取花岗石横梁为基础，确保机构不会变形及横梁中间不会下垂。2、X轴直线导轨取上置设计，符合导轨受力原理，具有高精度及运行稳定的特点。3、X轴花岗石背面独特的采用厚钢片锁固，精密仪器工作台，增强X轴的韧性，确保横梁不会折断。4、Y轴独特的硬体封闭环设计，在立柱底部采用钢板连接，是横梁、立柱构成一个整体，确保机构不会变形。5、Y轴中间传动，X轴的硬体闭环结构，确保运行时不会出现左右偏摆或甩尾的物理现象，精密仪器实验室，精度得到提高。6、Z轴采用交叉导轨，利用滚珠丝杆传动，运行稳定，确保精度。7、影像测量软件可自动编程，全自动检测。
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