一种低温等离子体清洗设备，该设备低温等离子体发生装置、履带输送机构、自动上料、下料机构以及受控驱动电机设置在密封反应仓内，该反应仓两端的进出物料口处各设置一个风门阻隔装置，在线等离子表面处理机，履带输送机构履带呈水平设置，自动上料机构和自动下料机构分置履带两端并靠近反应仓进出物料口处，低温等离子体发生装置设置于履带上方，数种气源经多气体比例混合供给装置和管道进入低温等离子体发生装置的辉光放电腔体内，在线等离子处理设备，在高频高压电源的作用下形成等离子体态工作气体束流并射向履带上的物料，在线等离子清洗机，进行物理和化学方式清洗。
等离子清洗/刻蚀技术是等离子体特殊性质的具体应用：
主要技术参数：
广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的最‘优质产品，以保证性能技术稳定。等离子表面处理设备特点：等离子清洗机清洗效果好，效率高，等离子，应用范围广。对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求 等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。射频功率无极连续可调。
