动态洁净室：
处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员;如果需要，可从事正常的工作。
洁净工作棚：
为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，无尘洁净室，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，洁净室制造，高度在2.5米左右，万级洁净室，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
洁净工作台：
等级Class 1~100级。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，日本则是采用公制，洁净室，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最-好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
