热等离子体
热等离子体应用热等离子体的温度为0.1～4电子伏，电流为1～100安及以上。这类等离子体处于热平衡态，电弧、等离子体炬属于这一类。主要用于难熔金属冶炼、机加工等。
热等离子体发生装置 可采用直流、交流或射频电源。图1为几种不同装置示意。图1a中，同轴旋转的气流吹入气室，等离子表面处理机，在水冷的正极（+）和负极（-）之间形成电弧。温度为8000～30000开，功率为20～75千瓦，热效率为55～85%。由于电极的烧蚀，这种装置的运行时间不长，约 100小时。
等离子机电子元件
由于半导体电子元件日益缩小，四平等离子表面处理机，半导体封装技术的要求也越来越严格，吉林等离子表面处理机，因此，封装厂在打线及封胶前，使用等离子体清洗机来基板的干式清洁方法，已成为目前必要的步骤，包括IC、LED、PCB、LCD等元件封装厂商，正逐渐将等离子体清洗视为基本配置。目前国内外市面上的等离子体清洗机除了包含晖盛科技之二家厂商的产品外，其余均只能使用适用于侧面有开槽的弹匣，以达清洗效果，江苏等离子表面处理机，应用开槽的弹匣有数项缺点，除了可摆放的基板数量较少外，所开的槽也可能因等离子体暗区的原理而阻挡等离子进入弹匣清洗基板，而影响清洁的效果。
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