等离子体和普通气体性质不同，普通气体由分子构成，分子之间相互作用力是短程力，仅当分子碰撞时，分子之间的相互作用力才有明显效果，理论上用分子运动论描述。在等离子体中，等离子清洗仪，带电粒子之间的库仑力是长程力，库仑力的作用效果远远超过带电粒子可能发生的局部短程碰撞效果，等离子体中的带电粒子运动时，能引起正电荷或负电荷局部集中，产生电场；电荷定向运动引起电流，产生磁场。电场和磁场要影响其他带电粒子的运动，并伴随着极强的热辐射和热传导；等离子体能被磁场约束作回旋运动等。等离子体的这些特性使它区别于普通气体被称为物质的第四态。
等离子清洗技术
CFC清洗在过去的清洗工艺中占有最重要的地位，等离子表面清洗设备，但由于其损耗大气臭氧层，而被限制使用。对于替代工艺，在清洗过程中， 等离子体清洗设备，不可避免地存在需后续工序的烘干(ODS类清洗不需烘干，等离子，但污染大气臭氧层，目前限制使用)及废水处理，人员劳动保护方面的较高投入，特别是电子组装技术、精密机械制造的进一步发展，对清洗技术提出越来越高的要求。环境污染控制也使得湿法清洗的费用日益增加。
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