主要优点：传感器的触针由金刚石制成，针尖圆弧半径为2微米，在触针的后端镶有导块，形成一条相对于工件表面宏观起伏的测量的基准，使触针的位移仅相对于传感器壳体上下运动，所以导块能起到消除宏观几何形状误差和减小纹波度对表面粗糙度测量结果的影响。传感器以铰链形式和驱动箱连接，能自由下落，从而保证导块始终与被测表面接触。
超声波抛光是利用工具端面做超声振动，尼康精密仪器，通过磨料悬浮液对硬脆材料进行光整加工，加工精度0.01~0.02μm，表面粗糙度Ra0.1μm。超声抛光设备简单，操作、维修方便，工具可用较软的材料制作，而且不需作复杂的运动，主要用来加工硬脆材料，如不导电的非金属材料，当加工导电的硬质金属材料时，生产率较低。
化学抛光是通过硝酸和磷酸等氧化剂，在一定的条件下，使被加工的金属表面氧化，使表面平整化和光泽化。化学抛光设备简单，可以加工各种形状的工件，精密仪器制造，效率较高，加工的表面粗糙度一般为Ra≤0.2μm，但腐蚀液对人体和设备有损伤，污染环境，需妥善处理。主要用来对不锈钢、铜、铝及其合金的光亮修饰加工。
轮廓测试仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器，精密仪器，作为精密测量仪器在汽车制造和铁路行业的应用十分广泛。
工作原理电动轮廓仪是通过仪器的触针与被测表面的滑移进行测量的，精密仪器工作台，是接触测量。其主要优点是可以直接测量某些难以测量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某种评定标准读数或是描绘出表面轮廓曲线的形状，且测量速度快、结果可靠、操作方便。但是被测表面容易被触针划伤，为此应在保证可靠接触的前提下尽量减少测量压力。
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