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晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。ITO靶材采用真空溅射法生产的ITO透明导电薄膜，是现代光电显示领域不可替代的功能材料。随着液晶显示等领域技术和市场的迅速发展，近年来ITO靶材的需求增长非常迅速。ITO靶灰回收厂家，ITO靶灰回收价格，ITO靶灰回收利用
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