模具的型芯型腔与导柱导套的匹配如果出现偏差，可以通过三坐标测量机找出偏差值以便纠正。在模具的型芯型腔轮廓加工成型后，很多镶件和局部的曲面要通过电极在电脉冲上加工成形，从而电极加工的质量和非标准的曲面质量成为模具质量的关键。因此，用三坐标测量机测量电极的形状必不可少。 三坐标测量机可以应用3D数模的输入，将成品模具与数模上的定位、尺寸、相关的形位公差、曲线、曲面进行测量比较，输出图形化报告，直观清晰的反映模具质量，从而形成完整的模具成品检测报告。 在某些模具使用了一段时间出现磨损要进行修正，精密仪器，但又无原始设计数据(即数模)的情况下，可以用截面法采集点云，用规定格式输出，探针半径补偿后造型，精密仪器出口，从而达到完好如初的修复效果。
1、基于新原理的加工方法努力开发加工单位极小的精密加工方法，必须在加工机理的本身就使其误差分散在1nm以下的水平。目前加工单位比较小的加工方法主要有弹性破坏加工、化学加工、离子束加工、电子束加工、等离子体加工等。目前的金刚石切削和金刚石砂轮精密磨削从其加工机理上看，精密仪器制造，其加工单位就很大。
2、开发精密的机械机构不论是加工装置还是测量装置，都需要 精密的机械机构，包括导轨、进给机构及轴承等，超精密空气静压导轨是目前好的导轨，其直线度可达(0.1~0.2)μm/250mm，通过补偿技术还可以进一步提高直线度，但是它没有液体静压导轨的刚性大。同时，由于空气静压导轨的气膜厚度只有10μm左右，所以在使用过程中，要注意防尘。另外，在导轨的设计中，还可以用多根导轨并联来均化气膜的误差。用高弹性合金、红宝石制造的滚动导轨，系统误差在0.5μm左右，精密仪器制造厂，随机误差可能超过0.1μm。
深度游标卡尺·用于测量凹槽或孔的深度、梯形工件的梯层高度、长度等尺寸，平常被简称为“深度尺”。·操作方法：1）测试前用软布擦净测量端面，检查尺框和主尺身的零刻度线是否对齐，若未对其，应根据原始误差修正测量读数。2）测量时先将尺框的测量面贴合在工件被测深部的顶面上，注意不得倾斜，然后将尺身推上去直至尺身测量面与被测深部手感接触，然后锁紧紧固螺钉。3）读数：以尺框零刻度线为准，读取毫米整数，再读出尺框上第n条刻度线与尺身刻度线对齐，读出尺寸L=毫米整数部分+n*分度值。
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