超声波抛光是利用工具端面做超声振动，通过磨料悬浮液对硬脆材料进行光整加工，加工精度0.01~0.02μm，表面粗糙度Ra0.1μm。超声抛光设备简单，操作、维修方便，工具可用较软的材料制作，精密仪器机械，而且不需作复杂的运动，主要用来加工硬脆材料，精密仪器加工厂，如不导电的非金属材料，精密仪器，当加工导电的硬质金属材料时，生产率较低。
化学抛光是通过硝酸和磷酸等氧化剂，在一定的条件下，使被加工的金属表面氧化，使表面平整化和光泽化。化学抛光设备简单，可以加工各种形状的工件，效率较高，加工的表面粗糙度一般为Ra≤0.2μm，但腐蚀液对人体和设备有损伤，污染环境，需妥善处理。主要用来对不锈钢、铜、铝及其合金的光亮修饰加工。
抛光
是利用机械、化学、电化学的方法对工件表面进行的一种微 细加工，主要用来降低工件表面粗糙度，精密仪器千分尺，常用的方法有：手工或机械抛光、超声波抛光、化学抛光、电化学抛光及电化学机械复合加工等。
手工或机械抛光是用涂有磨膏的抛光器，在一定的压力下，与工件表面做相对运动，以实现对工件表面的光整加工。加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05μm，可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的抛光加工。手工抛光的加工效果与操作者的熟练程度有关.
测量特点
1先进的补偿算法，对Z轴精度进行补偿2、可评定锥形柱体的轮廓度（小锥体）3、气浮运动轴系，精度保持长久4、Z轴光栅计数5、关键件采用特殊去应力合金材料及特殊的去应力处理工艺，精度保持长久6、业内领先的高精度采集控制系统，控制系统所有电路按标准设计、生产及验收，能在-70。C ～+70。C的温度区间内稳定工作
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