简 介
三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，三氟化氮，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
分子结构
相对密度(气体，销售三氟化氮，空气=1，20℃，101.325kPa)：2.46
比容(21.1℃，三氟化氮是微电子，101.325kPa)：0.3371m3/kg
气液容积比(15℃，无锡三氟化氮，100kPa)：520L/L
临界温度：-39.3℃
临界压力：4530kPa
临界密度：522kg/m3
临界压缩系数：0.317
熔化热(-206.79℃，101.325kPa)：5.61kJ/kg
气化热(-129℃，101.325kPa)：163.29kJ/kg
比热容(气体，25℃，101.325kPa)：Cp=751.68J/(kg·K)
蒸气压(-171℃)：1.333kPa
(-100℃)：470kPa
(-60℃)：2200kPa
无锡三氟化氮_江苏科米克_销售三氟化氮由江苏科米克化工有限公司提供。江苏科米克化工有限公司（www.cmc-chemical.com）坚持“以人为本”的企业理念，拥有一支专业的员工队伍，力求提供好的产品和服务回馈社会，并欢迎广大新老客户光临惠顾，真诚合作、共创美好未来。江苏科米克——您可信赖的朋友，公司地址：苏州工业园区星湖街218号生物纳米园，联系人：于经理。