尽管洁净室仍然需要过滤空气，但过滤器的数量逐渐从完全覆盖率降低到到35%覆盖率。结果，流过整个空间和经过架空地板的空气流量减少，穿孔地板的数量减少了，从而在洁净室里更多地使用实心地板。
传统的地板系统的接地方法在工业中没有多大改变。通常的方法是夹在支架上，然后连在一起接到建筑物的接地系统里。防静电地板已经被广泛应用，洁净室工程，它利用特殊的具有耐化学腐蚀性的乙烯基材料，洁净室，而且含有碳元素，具有必要的导电率。地板块的下方，每个支架顶端，放置一个乙烯基/铁丝网接地垫。这保证系统中电流正确贯穿所有构件。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最-好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
