等离子清洗技术
气体被激发成等离子态有多种方式,如激光、微波、电晕放电、热电离、弧光放电等多种方式,在电子清洗中,清洗,主要是低压气体辉光等离子体。一些非聚合性无机气体(Ar2、N2、H2、O2等)在高频低压下被激发,COG清洗,产生含有离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子。一般在等离子清洗中,可把活化气体分为两类,一类为惰性气体的等离子体(如Ar2、N2等);另一类为反应性气体的等离子体(如O2、H2等)。这些活性粒子能与表面材料发生反应。
等离子体表面处理仪的产品特征:
* 紧凑的台式设备、没有RF放射、符合CE安全标准。
* 功率为低、中、高三档可调。
* 两种型号:
基本型:PDC-32G-2
清洗舱:长6.5英寸,直径3英寸;
整机尺寸:8英寸H×10英寸W×8英寸D
扩展型:PDC-002
清洗舱:长6.5英寸,直径6英寸;舱盖具备铰链和磁力锁,并有一个可视窗口。
整机尺寸:11英寸H×18英寸W×9英寸D
等离子体表面处理仪除了PDC-32G-2 基础型和PDC-002 扩展型 两种常规机型的等离子清洗机以外,我们还提供以下配件选项:气流混合器 配套进口真空干泵 进口真空油泵