等离子体的技术
60年代，等离子清洁，美国离子弧公司以锆英砂为原料在直流电弧等离子体中一步裂解制备氧化锆。70年代末，中国以硼砂和尿素为原料，在直流电弧等离子体中制备高纯六方氮化硼粉，等离子处理设备，该法具有产品纯度高、成本低、工艺流程简单等优点。此外，还可利用等离子技术生产二氧化钛。
主要特点为：
①等离子体中具有正、负离子，等离子，可作为中间反应介质。特别是处于激发状态的高能离子或原子，可促使很多化学反应发生。
所述等离子体清洗设备包括多个等离子体发生筒；所述等离子体发生筒的一端为进气口，等离子发生器，另一端为出气口，每个所述等离子体发生筒将位于其内部的气体激发为等离子体；所述多个等离子体发生筒阵列设置；且所述多个等离子体发生筒下端的开孔交错设置。上述等离子体清洗设备输入到玻璃基板表面的等离子体可以均匀地将玻璃基板覆盖，减少未被等离子体覆盖的死角，从而可以保证对玻璃基板的清洗效果。
