复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，百级洁净室哪家好，可提供局部超洁净之空气。
垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，洁净室，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，承接洁净室，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，洁净室，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
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乱流式(Turbulent Flow)层流式(Laminar)复合式(Mixed Type)气流的重要性风速的控制影响因素
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1，000-100，000级。
