超精密零件加工精度以纳米，甚至最后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，超精密零件切削加工方法已不能适应，必要借助特种精密零件加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
轴类零件和盘类零件的加工方式大部分都是车削，而套类零件一般都用镗削，复杂曲面的切削加工，主要采用仿形铣和数控铣的方法或特种加工方法。
典型表面的加工路线
（一）外圆表面的加工路线
1．粗车→半精车→精车：
应用最广，满足IT≥IT7，▽≥0.8外圆可以加工
2．粗车→半精车→粗磨→精磨：
用于有淬火要求IT≥IT6，▽≥0.16 的黑色金属。
3．粗车→半精车→精车→金刚石车：
用于有色金属、不宜采用磨削加工的外用表面。
4．粗车→半精车→粗磨→精磨→研磨、超精加工、砂带磨、镜面磨、或抛光在2的基础上进一步精加工。
目的为了减少粗糙度，提高尺寸精度，形状和位置精度。
（二）孔的加工路线
1．钻→粗拉→精拉：
用于大批大量生产盘套类零件的内孔，电器零部件加工，单键孔和花键孔加工，加工质量稳定，生产效率高。
2．钻→扩→铰→手铰：
用于中小孔加工，扩孔前纠正位置精度，铰孔保证尺寸、形状精度和表面粗糙度。
3．钻或粗镗→半精镗→精镗→浮动镗或金刚镗
应用：
1）单件小批量生产中箱体孔隙加工。
2）位置精度要求很高的孔系加工。
3）直径比较大得孔ф80mm以上，毛坯上已有铸孔或锻孔。
4）有色金属有金刚镗来保证其尺寸，形状和位置精度以及表面粗糙度的要求
4．/钻（粗镗）粗磨→半精磨→精磨→研磨或衍磨
应用：淬硬零件加工或精度要求高的孔加工。
说明：
1）孔最终加工精度很大程度上取决于操作者的水平。
2）特小孔加工采用特种加工方法。
（三）平面的加工路线
1．粗铣→半精铣→精铣→高速铣
平面加工中常用，视被加工面精度和表面粗糙度技术要求，灵活安排工序。
2．/粗刨→半精刨→精刨→宽刀精刨、刮研或研磨
应用广泛，生产率低，常用于窄长面的加工，最终工序安排也视加工表面的技术要求而定。
3．铣（刨）→半精铣（刨）→粗磨→精磨→研磨、精密磨、砂带磨、抛光
加工表面淬火，最终工序视加工表面的技术要求而定。
4．拉→精拉
大批量生产有沟槽或台阶表面。
5．车→半精车→精车→金刚石车
有色金属零件的平面加工。
如何增加精密机械零部件加工的优质性:
首先，要选择从事机械加工工作技术好的工作人员。没有过关的技术，很难做好机械加工的，汽车零部件加工，大家也都知道精密机械的零件加工是容不下粗劣的。在工艺上也是有难度的，即使可以做好，零部件加工，可会花费大量的时间，如果开始没有起好头，会容易功亏一篑，功效得不偿失.
其次，优秀的机械加工工艺流程是从事机械加工出产的必要品。也是拟定公司规章轨制的必不成缺的重要部门。不管是管理还是生产都是会有流程的，而流程的存在就是为了能完成预期的效果，只有按照合理优秀的机械加工工艺流程，才能为我们缔造更多的价值，提高劳动出产效率。
再次，整个生产过程中注重沟通，不管是问题还是节点，零部件加工，都需要多点沟通与交流，加工场和设备厂商的沟通是做好自动化设备零件加工的重要条件。加工人员通常是按照图纸来进行加工工作，可是更多的时候，很多工艺处所可以简化和改良，既可以降低成本，又可以提高效率。
