1、基于新原理的加工方法努力开发加工单位极小的精密加工方法，必须在加工机理的本身就使其误差分散在1nm以下的水平。目前加工单位比较小的加工方法主要有弹性破坏加工、化学加工、离子束加工、电子束加工、等离子体加工等。目前的金刚石切削和金刚石砂轮精密磨削从其加工机理上看，其加工单位就很大。
2、开发精密的机械机构不论是加工装置还是测量装置，都需要 精密的机械机构，包括导轨、进给机构及轴承等，超精密空气静压导轨是目前好的导轨，其直线度可达(0.1~0.2)μm/250mm，精密仪器制造，通过补偿技术还可以进一步提高直线度，但是它没有液体静压导轨的刚性大。同时，由于空气静压导轨的气膜厚度只有10μm左右，所以在使用过程中，要注意防尘。另外，在导轨的设计中，还可以用多根导轨并联来均化气膜的误差。用高弹性合金、红宝石制造的滚动导轨，系统误差在0.5μm左右，随机误差可能超过0.1μm。
回转轴法。利用精密轴系中的轴回转一周所形成的圆轨迹（理想圆）与被测圆比较，圆度仪两圆半径上的差值由电学式长度传感器转换为电信号，经电路处理和电子计算机计算后由显示仪表指示出圆度误差，或由记录器记录出被测圆轮廓图形。回转轴法有传感器回转和工作台回转两种形式。前者适用于高精度圆度测量，精密仪器，后者常用于测量小型工件。按回转轴法设计的圆度测量工具称为圆度仪。
量具是测量零件的尺寸、角度、形状精度和相互位置精度等所用的测量工具。常用游标量具包括:游标卡尺、深度游标卡尺、高度游标卡尺、千分尺以及百分表等.
游标卡尺·一种测量长度、内外径、深度的量具。·操作方法：1）测试前用软布将量爪擦干净，尼康精密仪器，使其并拢，查看游标和主尺身的零刻度线是否对齐。若未对其，应根据原始误差修正测量读数。2）测量工件时，右手拿住尺身，大拇指移动游标，左手拿待测物体，使待测物位于外测量爪之间，精密仪器出口，并与量爪紧紧相贴，然后锁紧紧固螺钉。3）读数：以游标零刻度线为准在尺身上读取毫米整数，再读出游标上第n条刻度线与尺身刻度线对齐，读出尺寸L=毫米整数部分+n*分度值。
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