1、基于新原理的加工方法努力开发加工单位极小的精密加工方法，必须在加工机理的本身就使其误差分散在1nm以下的水平。目前加工单位比较小的加工方法主要有弹性破坏加工、化学加工、离子束加工、电子束加工、等离子体加工等。目前的金刚石切削和金刚石砂轮精密磨削从其加工机理上看，精密仪器出口，其加工单位就很大。
2、开发精密的机械机构不论是加工装置还是测量装置，都需要 精密的机械机构，包括导轨、进给机构及轴承等，超精密空气静压导轨是目前好的导轨，其直线度可达(0.1~0.2)μm/250mm，通过补偿技术还可以进一步提高直线度，但是它没有液体静压导轨的刚性大。同时，由于空气静压导轨的气膜厚度只有10μm左右，精密仪器加工厂，所以在使用过程中，要注意防尘。另外，在导轨的设计中，精密仪器制造厂，还可以用多根导轨并联来均化气膜的误差。用高弹性合金、红宝石制造的滚动导轨，系统误差在0.5μm左右，随机误差可能超过0.1μm。
三坐标测量机是测量和获得尺寸数据的最有效的方法之一，因为它可以代替多种表面测量工具及昂贵的组合量规，精密仪器，并把复杂的测量任务所需时间从小时减到分钟，并快速准确地评价尺寸数据，为操作者提供关于生产过程状况的有用信息。发动机是由许多各种形状的零部件组成，这些零部件的制造质量直接关系到发动机的性能和寿命。因此，需要在这些零部件生产中进行非常精密的检测，以保证产品的精度及公差配合。
深度游标卡尺·用于测量凹槽或孔的深度、梯形工件的梯层高度、长度等尺寸，平常被简称为“深度尺”。·操作方法：1）测试前用软布擦净测量端面，检查尺框和主尺身的零刻度线是否对齐，若未对其，应根据原始误差修正测量读数。2）测量时先将尺框的测量面贴合在工件被测深部的顶面上，注意不得倾斜，然后将尺身推上去直至尺身测量面与被测深部手感接触，然后锁紧紧固螺钉。3）读数：以尺框零刻度线为准，读取毫米整数，再读出尺框上第n条刻度线与尺身刻度线对齐，读出尺寸L=毫米整数部分+n*分度值。
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