1、基于新原理的加工方法努力开发加工单位极小的精密加工方法，必须在加工机理的本身就使其误差分散在1nm以下的水平。目前加工单位比较小的加工方法主要有弹性破坏加工、化学加工、离子束加工、电子束加工、等离子体加工等。目前的金刚石切削和金刚石砂轮精密磨削从其加工机理上看，其加工单位就很大。
2、开发精密的机械机构不论是加工装置还是测量装置，都需要 精密的机械机构，精密仪器出口，包括导轨、进给机构及轴承等，超精密空气静压导轨是目前好的导轨，精密仪器工作台，其直线度可达(0.1~0.2)μm/250mm，通过补偿技术还可以进一步提高直线度，但是它没有液体静压导轨的刚性大。同时，由于空气静压导轨的气膜厚度只有10μm左右，精密仪器，所以在使用过程中，要注意防尘。另外，在导轨的设计中，还可以用多根导轨并联来均化气膜的误差。用高弹性合金、红宝石制造的滚动导轨，系统误差在0.5μm左右，随机误差可能超过0.1μm。
手摇影像测量仪在测量点A、B两点之间距离的操作是：先摇X、Y方向手柄走位对准A点，然后锁定平台、改手操作电脑并点击鼠标确定；再打开平台，手摇到B点，重复以上动作确定B点。每次点击鼠标是要将该点的光学尺位移数值读入计算机，当所有点的数值都被读入后才能进行计算功能的操作。这种初级设备就像一个技术的“积木拼盘”，精密仪器机械，一切功能与操作都是分离进行的；一会摇手柄、一会点鼠标；手摇时还需注意均匀且轻而慢、不能回旋；一位熟练操作员进行一个简单的距离测量大概需要数分钟。
测量方式大致可分为接触式与非接触式两种，目前Metris LK的测量机在两项技术上位居世界前列。 模具的型芯型腔与导柱导套的匹配如果出现偏差，可以通过三坐标测量机找出偏差值以便纠正。在模具的型芯型腔轮廓加工成型后，很多镶件和局部的曲面要通过电极在电脉冲上加工成形，从而电极加工的质量和非标准的曲面质量成为模具质量的关键。因此，用三坐标测量机测量电极的形状必不可少。
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