送风墙局部布高效过滤器较满布水平送可减少高效过滤器用量，节约初投资，但局部区域有涡流。3) 乱流型气流：孔板顶送和密集散流器顶送的特点与前述相同：侧送的优点易于管道布置，无需技术夹层，造价低，有利于旧厂房改造，缺点是工作区风速较大，下风侧比上风侧含尘浓度高；
高效过滤器风口顶送具有系统简单、高效过滤器后无管道、洁净气流直接送达工作区等优点，但洁净气流扩散缓慢，光学无尘车间，工作区气流较均匀；不过当均匀地布置多个风口或采用带扩散板地高效过滤器风口时，也可使得工作区气流较均匀；但在系统非连续运行地情况下，扩散板易积尘。
洁净空调的水系统通常包括两部分：敞开式的冷却水循环水系统，密闭式的冷冻水循环水系统。敞开式的冷却水循环水系统，由于水中会溶解氧和细菌、自来水中溶解的许多盐类、冷却水为敞开式的，和空气完全接触，万级无尘车间，生成生物粘泥，生物粘泥会堵塞管道及滤网等设备。综上所述，电化学腐蚀、结垢、生物粘泥是冷却水进行水处理的三大原因。
对于密闭的冷冻水循环系统而言，主要的原因就是水中溶解的氧和细菌产生的腐蚀，云南无尘车间，及生物粘泥堵塞管道及滤网，光电无尘车间，则会降低水流量，导致换热效率的降低。冷凝器上的污垢每增加0.1毫米，散热效率降低5-10%，机组耗电量增加8-15%。
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