低温等离子处理过程是否会产生污染
低温等离子表面处理是一种“洁净'的处理工艺，处理过程中只有少量臭氧O3因为电离空气而产生，在线等离子表面处理机，但对一些材料处理过程中会分解出少量氮氧化物，等离子，应该配备排风系统。
低温等离子处理需要特殊气体吗
在线处理过程中除了压缩空气，不需要其他特殊气体。但如果是次大气压下的辉光放电设备，PTI等离子，可以充入氩气、氦气等惰性气体，在不同于空气的气氛条件下进行表面处理。
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，在线等离子清洗机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
