等离子体对塑料、橡胶材料表面改性处理通过低温等离子体表面处理，材料表面发生多种的物理、化学变化，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，低温等离子发生器，或引入含氧极性基团，等离子清洗设备仪，使亲水性、粘结性、可染色性、生物相容性及电性能分别得到改善。等离子体对硅橡胶进行表面处理，等离子表面，结果N2、Ar、O2、CH4-O2及Ar-CH4-O2等离子体均能改善硅橡胶的亲水性，其中CH4-O2和Ar-CH4-O2的效果更佳，且不随时间发生退化。
光伏产业等离子应用
光伏产业对清洁生产的要求非常苛刻。太阳能级的硅片虽然纯净度不需要达到电子级，但是6个9的纯度也还是很高的。在切片等过程中，硅片或多或少会接触到各种污染源，因此清洗显得至关重要。等离子清洗是经常用到的一种方法。这些自由基会进一步与材料表面作反应。
其反应机理主要是利用等离子体里的自由基来与材料表面做化学反应，在压力较高时，等离子，对自由基的产生较有利，所以若要以化学反应为主时，就必须控制较高的压力来近进行反应。
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