热等离子体
热等离子体应用热等离子体的温度为0.1～4电子伏，电流为1～100安及以上。这类等离子体处于热平衡态，等离子体清洗仪，电弧、等离子体炬属于这一类。主要用于难熔金属冶炼、机加工等。
热等离子体发生装置 可采用直流、交流或射频电源。图1为几种不同装置示意。图1a中，同轴旋转的气流吹入气室，OLED基板清洗，在水冷的正极（+）和负极（-）之间形成电弧。温度为8000～30000开，功率为20～75千瓦，热效率为55～85%。由于电极的烧蚀，这种装置的运行时间不长，电路板清洗，约 100小时。
等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。就以下三个部分做一个陈述：
一、控制单元：
目前国内使用的等离子清洗机，包括国外进口的，清洗，控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。
而控制单元又分为两个大的部分：1）电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的，而2.45GHz又称为微波等离子，主要的功能作用，前面已经提到了，这里就不一一介绍了。2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。
