控制系统(DDC)温度:干盘管系统控制湿度:空调箱调节通过感测的信号，无尘车间，控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量正压:空调箱调节，建无尘车间，根据静压感测的信号，自动调节空调箱马达变频器的频率，从而调节进入室内的新风量.其他系统不只是空调系统， 无尘室系统中还包括有真空，无尘车间厂，空压，氮气，纯水，无尘车间装潢，废水，二氧化碳系统，制程排气系统，
清洁要求
(1)、清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;
(2)、用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂;
(3)、使用已获批准的洁净室专用去污剂;
(4)、每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
(5)、每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
(6)、清洁洁净室的地面应使用专用拖把。
(7)、在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。
(8)、所有的门都需要检查并擦干
(9)、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
(10)、架空地板下也要吸尘及擦拭。
(11)、三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
