单晶片清洗 ：
大直径晶片的清洗采用上述方法不好保证其清洗过程的完成，通常采用单晶片清洗法，腐蚀，其清洗过程是在室温下重复利 用DI-O 3/DHF清洗液，臭氧化的DI水（DI-O3 ）产生氧化硅，稀释的HF蚀刻氧化硅，SPM腐蚀设备，同时清除颗粒和金属污染物。
专用超声波清洗机
荡涤成绩好，干净度高且全数工件干净度一致。 荡涤速率快，提高生产效率，不须人手构兵荡涤液，安全可靠。 对深孔、细缝和工件隐蔽处亦可荡涤干净。 对工件表面无损伤，节俭溶剂、热能、工作园地和人工。
超声波产生器超声荡涤频率从十几kHz到100kHz之间，在应用水或水荡涤剂时由空穴劝化惹起的物理荡涤力显明对低频不利，一样平常应用15-30kHz左右。对小间隙、狭缝、深孔的零件荡涤，用高频（一样平常40kHz以上）较好，甚至几百kHz。对钟表零件荡涤时，用400kHz。若用宽带调频荡涤，成绩更良好。 水荡涤液最符合的荡涤温度为40-60℃，晶圆腐蚀，尤其在天冷时若荡涤液温度低空化效应差，荡涤成绩也差。是以有局部荡涤机在荡涤缸外边绕上加热电热丝发展温度控制，当温度抬高后空化易产生，以是荡涤成绩较好。当温度继续抬高以后，空泡内气体压力增进，惹起打击声压下降，反应出这两因素的相乘劝化。
专用超声波清洗机一样平常安设在某些特定物件荡涤的生产流水线上。科泰生产超声波清洗机清洗机，做工后世，湿法腐蚀台，拥有多年的出产和销售教育，攻陷的中国大局部市场，欢迎换购本厂生产的超声波清洗机清洗机. 模范的软磁器件超声波清洗机清洗装备引见：被荡涤物件从进料口可传动的不锈钢专用网带送人超声波清洗机清洗槽荡涤，再经喷淋、烘干等工序后出料，实现被荡涤物件可直接包装入库。
苏州晶淼半导体设备有限公司致力于向客户提供湿法制程刻蚀设备、清洗设备、高端PP/PVC通风柜/厨、CDS化学品集中供液系统一站式解决方案。精良的产品质量是我们的根本，超客户预期是我们的自我需求！
