低温等离子处理过程是否会产生污染
低温等离子表面处理是一种“洁净'的处理工艺，处理过程中只有少量臭氧O3因为电离空气而产生，但对一些材料处理过程中会分解出少量氮氧化物，应该配备排风系统。
低温等离子处理需要特殊气体吗
在线处理过程中除了压缩空气，不需要其他特殊气体。但如果是次大气压下的辉光放电设备，等离子，可以充入氩气、氦气等惰性气体，常压低温等离子体，在不同于空气的气氛条件下进行表面处理。
等离子清洗机
采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
使用等离子清洗，lcd等离子清洗，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点；
等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；
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