复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，洁净室，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，洁净室施工，维修更换过滤器较麻烦。
洁净车间的用途？
现代经济发展迅速，以微电子、生物工程、精密机加为代表的科学实验和高科技生产过程，洁净室企业，对产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性提出了更高的要求。室内生产环境不仅关系到从业人员生产活动中的健康和舒适性，而且关系到生产效率、产品质量，乃至生产过程能否进行的重要问题。无尘车间对室内环境的用途，室内生产环境是制约工业生产，特别是高科技生产能否进行的关键因素之一。例如，在微电子行业的芯片生产过程中，洁净室，对微粒的控制要达到分子级，否则生产就无法进行，或者生产出次品；在抗菌素的生产环境中，如果存在某些微生物，生产就不能正常进行。
