洁净度100级 cleanliness class 100
洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的尘粒数为0。周期中建立模范标准的决心。
洁净度1000级 cleanliness class 1000
洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L);大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3(0.3粒/L)。
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100-%之过滤器进入室内，工业洁净室，并由高架地板或两侧隔墙板回风，洁净室，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，洁净室，一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，洁净室工程，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
